author = { Hüpkes, Jürgen },

title = { Untersuchung des reaktiven Sputterprozesses zur Herstellung von aluminiumdotierten Zinkoxid-Schichten für Silizium-Dünnschichtsolarzellen },

publisher = {Forschungszentrum Jülich},

isbn = {9783893364350},

isbn = {3893364358},

keywords = { Sputtering (Physics) , Zinc oxide thin films , Aluminum coating , Solar cells Materials , Silicon solar cells , Doped semiconductors , Hochschulschrift },

year = {2006},

booktitle = {Schriften des Forschungszentrums Jülich, Reihe Energietechnik / Energy Technology ; 52},

address = { Jülich },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }