author = { Thelemann, Torsten Thust, Heiko AND Knedlik, Christian AND Müller, Jens },

title = { Die LTCC-Technologie als Basis von sensorischen, aktorischen und fluidischen Komponenten für Mikrosysteme },

publisher = {ISLE},

isbn = {3938843144},

isbn = {9783938843147},

keywords = { Hochschulschrift , Mikromechanik , Mikrosystemtechnik , LTCC },

year = {2006},

address = { Ilmenau },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }