author = { Haubold, Marco },

title = { Erarbeitung einer Fertigungstechnologie und Charakterisierungsmethodik für die Herstellung hochsensitiver Vibrationssensoren unter Nutzung des Mikroschweißprozesses },

publisher = {Universitätsverlag Chemnitz},

isbn = {3944640756},

isbn = {9783944640754},

keywords = { Hochschulschrift , Vibrationssensor , Fertigung , Wafer , Silicium , Mikroschweißen , Helmholtz-Resonator , Technologie , Bonden , Festigkeit },

year = {2016},

address = { Chemnitz },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }