author = { Wagner, Alexander Bakin, Andrey AND Kowalsky, Wolfgang },

title = { Gasphasenabscheidung zur Herstellung von Halbleiterstrukturen auf der Basis oxidischer Kupferverbindungen },

edition = { 1. Auflage } ,

publisher = {Verlag Dr. Hut},

isbn = {3843931623},

isbn = {9783843931625},

keywords = { Hochschulschrift , Halbleiterwerkstoff , Kupferoxid Kupfer(I)oxid , Beschichtung , CVD-Verfahren , PVD-Verfahren },

year = {2017},

abstract = {Literaturverzeichnis: Seite 115-129},

booktitle = {Elektrotechnik},

address = { München },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }