author = { Junghähnel, Manuela Rädlein, Edda AND Schaaf, Peter AND Strümpfel, Johannes },

title = { Herstellung und Charakterisierung von transparenten elektrisch leitfähigen TiO2:Nb- Dünnschichten durch Gleichstrom- und Puls-Magnetron-Sputtern },

publisher = {Universitätsbibliothek Ilmenau},

keywords = { Titandioxid , Transparent-leitendes Oxid , Niob , Dünne Schicht , Magnetronsputtern , Titanoxid , Transparente leitfähige Oxide(TCO) , Transparente Elektrode , Dotierung , Puls-Magnetron-Sputtern (PMS) , Großflächenbeschichtung , Punktdefekte , (DNB-Sachgruppen)620 , Hochschulschrift },

year = {2012},

address = { Ilmenau },