@misc
{TN_libero_mab2,
author = {
Klenner, Mathias
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Institut für Mikrosystemtechnik
AND
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Institut für Nachhaltige Technische Systeme
AND
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Fakultät für Angewandte Wissenschaften
AND
Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
Ambacher, Oliver
AND
Buse, Karsten
},
title = {
Spectroscopic millimeter wave ellipsometry
},
publisher = {Universität},
keywords = {
Werkstoffprüfung
,
Millimeterwelle
,
(local)doctoralThesis
,
Hochschulschrift
},
year = {2017},
abstract = {cc_by_nc_nd http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/deed.de cc},
address = {
Freiburg
},
url = {
http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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}