author = { Schmidt, Frederik Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik Brinkmann, Ralf Peter AND Mussenbrock, Thomas },

title = { Technische Hochfrequenzplasmen und ihre Wechselwirkung mit externen elektrischen Netzwerken },

publisher = {Ruhr-Universität Bochum},

keywords = { Entladung , Netzwerksynthese , Frequenz , Impedanz , Plasma , Hochfrequenzplasma , Simulation , Schaltung , Leistungsanpassung },

year = {2019},

address = { Bochum },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }