author = { Zschenderlein, Uwe Wunderle, Bernhard AND Wunderle, Bernhard AND Meyendorf, Norbert },

title = { Zerstörungsfreie Eigenspannungsbestimmung für die Zuverlässigkeitsbewertung 3D-integrierter Kontaktstrukturen in Silizium },

publisher = {Universitätsbibliothek Chemnitz},

keywords = { System-in-Package , Dreidimensionale Integration , Bonden , Silicium , Eigenspannung , Spannungsanalyse , Zerstörungsfreie Werkstoffprüfung , Röntgenographie , Finite-Elemente-Methode , Zuverlässigkeit , Integration , Röntgenbeugung , Simulation , Beugung , 3D , TSV , FE , dynamisch , XRD , zerstörungsfrei , Spannungsbestimmung , lokal , Raman , integration , X-ray , diffraction , simulation , dynamical , non-destructive , residual , stress , determination , investigation , analysis , local , Hochschulschrift },

year = {2014},

address = { Chemnitz },