author = { Mühle, Uwe Rafaja, David AND Rafaja, David AND Lichte, Hannes AND Zschech, Ehrenfried },

title = { Spezielle Anwendungen der Transmissionselektronenmikroskopie in der Siliziumhalbleiterindustrie },

publisher = {Technische Universitaet Bergakademie Freiberg Universitaetsbibliothek "Georgius Agricola"},

keywords = { Elektronenholografie , Elektronenstrahltomografie , Durchstrahlungselektronenmikroskopie , Siliciumhalbleiter , Halbleiterindustrie , Silicium , Elektronenholographie , Elektronenstrahltomographie , Transmissionselektronenmikroskopie , Präparation , Elementanalyse , Elektronentomographie , Transmission electron microscopy , Semiconductors industry , Preparation , Elemental analysis , Electronholography , Elektron Tomography },

year = {2015},

address = { Freiberg },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }