@misc
{TN_libero_mab2,
author = {
Zimmermann, Sven
},
title = {
Entwicklung einer Technologie zur Herstellung eines neuartigen Substrates mit strukturierten vergrabenen Kobaltdisilizidschichten für die gemeinsame Integration bipolarer und unipolarer Bauteile auf einem SOI-Wafer
},
keywords = {
PVD-Verfahren
,
SOI-Technik
,
Hochschulschrift
},
year = {2007},
url = {
http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
}
}