author = { ISO/TC 107 Metallische und andere anorganische Überzüge AND ISO/TC 107 Metallic and other inorganic coatings AND ISO/TC 107 Revêtements métalliques et autres revêtements inorganiques AND ISO Internationale Organisation für Normung AND ISO International Organization for Standardization AND ISO Organisation Internationale de Normalisation },

title = { ISO 23131 Ellipsometry - Principles },

edition = { 2021-04-00 } ,

publisher = {International Organization for Standardization},

keywords = { Messung , Produktionskontrolle , Bestimmung der Dielektrizitätskonstanten , Schicht , Schichtdickenmessung , Bedampfung , Ellipsometrie , gepolt , Überzug , Licht , dielektrische Konstante , metallisch , Messverfahren , Schichtdicke , Gütesicherung , Einlage , Auskleidung , Fertigungskontrolle , Reflexion , Optik , polarisiert , konstant , optisch , Umkleidung , Dielektrizitätszahl , Spektralbereich , Fertigungsüberwachung , Qualitätssicherung , Feuer , Außenschicht , Konstante , Messwesen , Oberflächeneigenschaft , Produktionssteuerung , Belag , Beschichtung , Gütebestätigung , Optical , Spectral range , Measurement , Production control , Optics , Layer thickness measurement , Light , Surface properties , Measurement, testing and instruments , Constant , Dielectric constant , Permittivity measurement , Coatings , Measuring techniques , Coverings , Layers , Jacketing , Quality assurance , Metallic , Quality assessment , Outer layers , Ellipsometry , Coating thickness , Polarized , Reflection , Internal coatings , Revêtement , Mesure de l'épaisseur du revêtement , Contrôle de production , Détermination de la permittivité relative , Couche , Mesurage , Assurance de la qualité , Propriété de surface , Feu , Constante diélectrique , Epaisseur du revêtement , Réflexion , Optique , Contrôle de la production , Mesurage, essai et instruments , Vaporisation , Permittivité relative , Métrologie , Garantie de la qualité , Constant , Polarisée , Métallique , Contrôle de la fabrication , Insertion , Metrologie , Fixe (constant) , Régulier , Lumière visible , Technique de mesure , Continu , Méthode de mesure , Plage spectrale },

year = {2021-04-00},

abstract = {Internationale Übereinstimmung mit: DIN EN ISO 23131 (2023-01), IDT*DIN EN ISO 23131 (2022-08), IDT*BS EN ISO 23131 (2021-04-27), IDT*EN ISO 23131 (2022-11), IDT*prEN ISO 23131 (2022-07), IDT*NF A91-173 (2022-11-09), IDT*OENORM EN ISO 23131 (2023-02-15), IDT*OENORM EN ISO 23131 (2022-08-01), IDT*SS-EN ISO 23131 (2022-11-18), IDT*UNE-EN ISO 23131 (2023-09-13), IDT*TS EN ISO 23131 (2022-12-08), IDT*UNI EN ISO 23131:2023 (2023-02-09), IDT*STN EN ISO 23131 (2023-02-01), IDT*CSN EN ISO 23131 (2023-04-01), IDT*NEN-EN-ISO 23131:2022 en (2022-11-01), IDT*NEN-ISO 23131:2021 en (2021-05-01), IDT},

booktitle = {ISO-Regelwerk},

booktitle = {ISO-Normen},

address = { Geneve },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }