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  1. Rublack, Tino [VerfasserIn] ; Seifert, Gerhard [AkademischeR BetreuerIn]; Wehrspohn, Ralf B. [AkademischeR BetreuerIn]; Gobsch, Gerhard [AkademischeR BetreuerIn]

    Schädigungsfreie Ablation dielektrischer Schichten auf Silizium mittels ultrakurzer Laserimpulse

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    Halle, Saale: Universitäts- und Landesbibliothek Sachsen-Anhalt, 2012