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  1. Gross, Hermann [Verfasser:in]; Model, Regine [Verfasser:in]; Bär, Markus [Verfasser:in]; Wurm, Matthias [Verfasser:in]; Bodermann, Bernd [Verfasser:in]; Rathsfeld, Andreas [Verfasser:in]

    Mathematical modelling of indirect measurements in periodic diffractive optics and scatterometry

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    Weierstrass Institute for Applied Analysis and Stochastics publication server, 2006

  2. Gross, Hermann [Verfasser:in]; Model, Regine [Verfasser:in]; Bär, Markus [Verfasser:in]; Wurm, Matthias [Verfasser:in]; Bodermann, Bernd [Verfasser:in]; Rathsfeld, Andreas [Verfasser:in]

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