%0 Generic
%T Development of PVD-coated and nanostructured reactive multilayer films
%A Sen, Seema
%A Technische Universität Ilmenau
%A Universitätsverlag Ilmenau
%A Schaaf, Peter
%A Bergmann, Jean Pierre
%A Lake, Markus
%I Universitätsverlag Ilmenau
%I : Universitätsbibliothek
%K Hochschulschrift
%K PVD-Verfahren
%K Magnetronsputtern
%K Mehrschichtsystem
%K Nanostrukturiertes Material
%D 2018
%D , 2018
%C Universitätsverlag Ilmenau
%C : Universitätsbibliothek
%C Ilmenau
%C ; Ilmenau
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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