%0 Book
%T Untersuchungen zur Einsatzfähigkeit anorganischer Dielektrika als Elektretschicht in mikromechanischen Wandlern
%A Amjadi, Houman
%7 Als Ms. gedr.
%I Shaker
%@ 3826561430
%K Hochschulschrift
%K Elektroakustischer Wandler
%K Elektret
%K Dünne Schicht
%K Siliciumnitrid
%K Siliciumdioxid
%K Siliciumoxinitride
%D 1999
%C Shaker
%C Aachen
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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