%0 Generic
%T Ionenstrahlanalytik im Helium-Ionen-Mikroskop
%A Klingner, Nico
%A Technische Universität Dresden
%A Faßbender, Jürgen
%A Faßbender, Jürgen
%A Gölzhäuser, Armin
%K Hochschulschrift
%D 2016
%C Dresden
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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