%0 Generic
%T Nanotechnologie und Nanoprozesse Einführung und Bewertung
%A Fahrner, Wolfgang
%7 2. Aufl. 2017
%I Springer Vieweg
%@ 9783662489086
%K Engineering
%K Inorganic chemistry
%K Electronics
%K Microelectronics
%K Optical materials
%K Electronic materials
%K Nanotechnology
%K Nanotechnologie
%K Nanoelektronik
%D 2017
%C Springer Vieweg
%C Berlin, Heidelberg
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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