%0 Generic
%T Automated parameter extraction of ScAlN MEMS devices using an extended Euler-Bernoulli beam theory
%A Krey, Maximilian
%A Hähnlein, Bernd
%A Tonisch, Katja
%A Krischok, Stefan
%A Töpfer, Hannes
%@ 1424-8220
%D 2020
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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