%0 Generic
%T Novel Patterning Technologies 2021 22-26 February 2021, online only, Unites States
%A Novel Patterning Technologies Veranstaltung 2021 Online
%A SPIE
%A SPIE
%A Panning, Eric M.
%I SPIE
%@ 9781510640542
%K Konferenzschrift
%D [2021]
%X Teilkonferenz von SPIE Advanced Lithography 2021
%X Enthält teilweise Vorträge in Form von Videos (Präsentationsfolien), teilweise ausgearbeitete Vorträge
%X Literaturangaben
%C SPIE
%C Bellingham, Washington, USA
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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