%0 Book
%T A novel method for the bottom-up microstructuring of silicon and patterning of polymers
%A Schutzeichel, Christopher
%A Technische Universität Dresden
%A Voit, Brigitte
%A Mannsfeld, Stefan
%K Hochschulschrift
%K Silicium
%K Oberflächenstruktur
%D 15. Juni 2021
%X Das Erscheinungsdatum ist der Tag der Verteidigung
%C Dresden
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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