%0 Generic
%T Laser-Based Micro- and Nanoprocessing X 16-18 February 2016, San Francisco, California, United States
%A Laser-Based Micro- and Nanoprocessing Veranstaltung 2016 San Francisco, Calif
%A SPIE
%A SPIE
%A Klotzbach, Udo
%A Washio, Kunihiko
%A Arnold, Craig B.
%I SPIE
%K Konferenzschrift
%D [2016]
%X Literaturangaben
%X Teilkonferenz von: SPIE Photonics West (innerhalb der Teil-Konferenz: SPIE LASE)
%C SPIE
%C Bellingham, Washington
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
Download citation