%0 Book
%T Micromechanical indentation study of stress related effects in transistor channels
%A Schlipf, Simon
%A Technische Universität Dresden
%I Fraunhofer Verlag
%@ 9783839617977
%K Hochschulschrift
%K CMOS
%K Transistor
%K Elektrische Eigenschaft
%K Mechanische Spannung
%K Ringoszillator
%D [2022]
%D , © 2022
%X Literaturverzeichnis: Seite 104-114
%C Fraunhofer Verlag
%C Stuttgart
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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