%0 Journal
%T Vakuum in Forschung und Praxis Zeitschrift für Vakuum- und Plasmatechnologie, Oberflächen und Dünne Schichten
%I Wiley-VCH
%I : VCH Verl.-Ges.
%@ 0947-076X
%K Zeitschrift
%K Vakuumtechnik
%D 1995-
%D , anfangs
%C Wiley-VCH
%C : VCH Verl.-Ges.
%C Weinheim
%C ; Weinheim
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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