%0 Generic
%T Advances in Grayscale Lithography Modeling
%A Badawi, Bassem
%A Universität der Bundeswehr München, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik
%A Kutter, Christoph
%A Kutter, Christoph
%A Kersch, Alfred
%I Universitätsbibliothek der Universität der Bundeswehr München
%K Hochschulschrift
%D 2023
%C Universitätsbibliothek der Universität der Bundeswehr München
%C Neubiberg
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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