%0 Book
%T Dokumentation Genauigkeit von Laserinterferometer-Systemen Grundlagen, Prüfmethoden, Grenzwerte, Sicherheit, Beurteilung
%A VDI/VDE-Gesellschaft Mess- und Automatisierungstechnik Ausschuss Grundlagen der Längen- und Winkelmessung
%A Gesellschaft Mess- und Regelungstechnik Ausschuss Grundlagen der Längen- und Winkelmessung
%I VDI-Verl.
%@ 3180907509
%K Laser interferometers Testing
%K Laserinterferometrie
%K Messgenauigkeit
%D 1989
%X Literaturangaben
%C VDI-Verl.
%C Düsseldorf
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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