%0
Book
%T
Mikrosystemtechnik
Konzepte und Anwendungen ; mit 21 Tabellen
%A Mescheder, Ulrich
%I Teubner
%@ 3519062569
%K Mikrosystemtechnik
%D 2000
%X Literaturverz. S. [308] - 318
%X Literaturverz. S. [308] - 318
%C Teubner
%C Stuttgart
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2