%0 Generic
%T Particle dynamics simulation and diagnostics of the PECVD processes in fluorocarbon rf discharges
%A Barz, Jakob Philipp
%@ 9783868534672
%K Hochschulschrift
%K Hochfrequenzplasma
%K Laserinduzierte Fluoreszenz
%K Simulation
%D 2010
%X Druckausg. beim Verl. Dr. Hut, München erschienen
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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