%0
Generic
%T
Entwicklung und Analyse von Arrays mikromechanischer Beschleunigungssensoren
%A Dienel, Marco
%K Beschleunigungssensor
%K Computersimulation
%K Digitale Regelung
%K MEMS
%K Redundanz
%K Sensorelektronik
%K Trägerfrequenzmessung
%K Hochschulschrift
%D 2009