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Book
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Erarbeitung einer Fertigungstechnologie und Charakterisierungsmethodik für die Herstellung hochsensitiver Vibrationssensoren unter Nutzung des Mikroschweißprozesses
%A Haubold, Marco
%I Universitätsverlag Chemnitz
%@ 3944640756
%@ 9783944640754
%K Hochschulschrift
%K Vibrationssensor
%K Fertigung
%K Wafer
%K Silicium
%K Mikroschweißen
%K Helmholtz-Resonator
%K Technologie
%K Bonden
%K Festigkeit
%D 2016
%C Universitätsverlag Chemnitz
%C Chemnitz
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2