%0 Generic
%T Planarisierung miniaturisierter Nb-Schaltungen durch chemisch-mechanisches Polieren (CMP)
%A Esser, G.
%A Goetz, Martin
%A Neuhaus, Manfred
%A Scherer, Theo
%A Jutzi, Wilhelm
%K DATA processing & computer science
%D 2008-01-16
%X Diese Datenquelle enthält auch Bestandsnachweise, die nicht zu einem Volltext führen.
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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