%0 Generic

%T Alignment Process for Glass Substrates Using Electrostatic Self-Assembly

%A Stucki, Martin

%A Schumann, Christoph

%A Raatz, Annika

%A Behrens, Bernd-Arno

%A Brosius, Alexander

%A Drossel, Welf-Guntram

%A Hintze, Wolfgang

%A Ihlenfeldt, Steffen

%A Nyhuis, Peter

%7 accepted Version

%I Springer Nature

%@ 978-3-031-18317-1

%@ 978-3-031-18320-1

%@ 978-3-031-18318-8

%@ 2194-0525

%K Self-assembly

%K Precision alignment

%K Parallel assembly

%D 2021

%X Diese Datenquelle enthält auch Bestandsnachweise, die nicht zu einem Volltext führen.

%C Springer Nature

%C Berlin

%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2