%0 Generic
%T Nonevaporable getter-MEMS for generating UHV conditions in small volumina
%A Diekmann, Leonard Frank
%A Kassner, Alexander
%A Dencker, Folke
%A Wurz, Marc Christopher
%7 published Version
%I AIP Publishing
%@ 2166-2746
%K Getters
%K High-vacuum chambers
%K Condition
%K Ultrahigh vacuum
%K Control electronics
%D 2022
%X Diese Datenquelle enthält auch Bestandsnachweise, die nicht zu einem Volltext führen.
%C AIP Publishing
%C New York, NY
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
Download citation