%0 Generic
%T Modeling of line roughness and its impact on the diffraction intensities and the reconstructed critical dimensions in scatterometry
%A Gross, Hermann
%A Henn, Mark-Alexander
%A Heidenreich, Sebastian
%A Rathsfeld, Andreas
%A Bär, Markus
%K 62P35
%K 78A46
%K diffraction gratings -- metrology
%K 65N30
%K article
%D 2012
%X Diese Datenquelle enthält auch Bestandsnachweise, die nicht zu einem Volltext führen.
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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