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Generic
%T
Herstellung und Charakterisierung von transparenten elektrisch leitfähigen TiO2:Nb- Dünnschichten durch Gleichstrom- und Puls-Magnetron-Sputtern
%A Junghähnel, Manuela
%A Rädlein, Edda
%A Schaaf, Peter
%A Strümpfel, Johannes
%I Universitätsbibliothek Ilmenau
%K Titandioxid
%K Transparent-leitendes Oxid
%K Niob
%K Dünne Schicht
%K Magnetronsputtern
%K Titanoxid
%K Transparente leitfähige Oxide(TCO)
%K Transparente Elektrode
%K Dotierung
%K Puls-Magnetron-Sputtern (PMS)
%K Großflächenbeschichtung
%K Punktdefekte
%K (DNB-Sachgruppen)620
%K Hochschulschrift
%D 2012
%C Universitätsbibliothek Ilmenau
%C Ilmenau