%0 Generic
%T Neuartige Ausheilverfahren in der SOI-CMOSFET-Technologie
%A Illgen, Ralf
%A Gerlach, Gerald
%A Stenzel, Roland
%I Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
%K Transistor
%K Drain
%K Planartransistor
%K Kur
%K Technologie
%K Ionenimplantation
%K Bauelement
%K VLSI
%K Blitzlampe
%K Lasertempern
%K CMOS
%K Kurzzeitausheilung
%K Millisekundenausheilung
%K Laserausheilung
%K Blitzlampenausheilung
%K SOI
%K CMOSFET
%K short time annealing
%K millisecond annealing
%K laser annealing
%K flash lamp annealing
%K Hochschulschrift
%D 2011
%C Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
%C Dresden
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
Download citation