%0
Generic
%T
Phase transformation in tetrahedral amorphous carbon by focused ion beam irradiation
%A Philipp, Peter
%A Faßbender, Jürgen
%A Bischoff, Lothar
%A Zahn, Wieland
%I Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
%K tetraedrisch amorpher Kohlenstoff
%K fokussierter Ionenstrahl
%K Phasentransformation
%K Graphitisierung
%K van-der-Pauw
%K deponierte Energiedichte
%K tetrahedral amorphous carbon
%K focused ion beam
%K phase transformation
%K graphitization
%K deposited energy density
%K Hochschulschrift
%D 2014
%C Saechsische Landesbibliothek- Staats- und Universitaetsbibliothek Dresden
%C Dresden
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2