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Generic
%T
Spectroscopic millimeter wave ellipsometry
%A Klenner, Mathias
%A Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Institut für Mikrosystemtechnik
%A Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Institut für Nachhaltige Technische Systeme
%A Albert-Ludwigs-Universität Freiburg Fakultät für Angewandte Wissenschaften
%A Albert-Ludwigs-Universität Freiburg
%A Ambacher, Oliver
%A Buse, Karsten
%I Universität
%K Werkstoffprüfung
%K Millimeterwelle
%K (local)doctoralThesis
%K Hochschulschrift
%D 2017
%X cc_by_nc_nd http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/deed.de cc
%C Universität
%C Freiburg
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2