%0 Generic
%T Herstellung von Einzelschichten und Solarzellen im Bereich der sehr hohen Plasmaanregungsfrequenzen (VHF) und Schichtdiagnostik
%A Leszczyńska, Barbara
%A Bartha, Johann Wolfgang
%A Schrader, Sigurd
%I Technische Universität Dresden
%K Solarzelle
%K VHF
%K PECVD
%K amorph
%K mikrokristallin
%K Silizium
%K amorphous
%K microcrystalline
%K silicon
%K Hochschulschrift
%D 2020
%C Technische Universität Dresden
%C Dresden
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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