%0 Generic
%T Optimizing edge topography of alternating phase-shift masks using rigorous mask modeling
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%A Mader, Leonhard
%A Erdmann, Andreas
%A List, Steffen
%A Gordon, Ronald L.
%A Kalus, Christian K.
%A Griesinger, Uwe A.
%A Pforr, Rainer
%A Mathuni, Josef
%A Ruhl, Guenther G.
%A Maurer, Wilhelm
%I SPIE
%@ 0277-786X
%D 2000
%C SPIE
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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