%0 Book
%T Piezoelektrische Sensoren auf Siliziumbasis für akustische Anwendungen
%A Franz, Joachim
%I VDI-Verl.
%@ 3181487104
%K Hochschulschrift
%K Piezoelektrisches Mikrofon
%D 1988
%C VDI-Verl.
%C Düsseldorf
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