@book
{TN_libero_mab2,
author = {
Harms, Torsten
},
title = {
Entwicklung eines neuartigen BICMOS-Prozesses unter wesentlicher Nutzung der Hochenergie-Ionenimplantation
},
edition = {
Als Ms. gedr.
}
,
publisher = {VDI-Verl.},
isbn = {3181410098},
keywords = {
Hochschulschrift
,
BICMOS
,
Ionenimplantation
},
year = {1991},
abstract = {Literaturverz. S. 171 - 179},
booktitle = {Fortschrittberichte VDI ; Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik ; 110},
address = {
Düsseldorf
},
url = {
http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
}
}