author = { Freise, Ludwig AND Schwerhoff, Ulrich AND Schulte-Hillen, Jürgen },

title = { Die kostenoptimierte Produktion von CMOS-Halbleitern },

edition = { Als Ms. gedr } ,

publisher = {VDI-Verl.},

isbn = {3181472093},

keywords = { Bericht , CMOS-Schaltung , Halbleitertechnologie , Fertigungsorganisation , Klein- und Mittelbetrieb , Mikroelektronikindustrie },

year = {1987},

abstract = {Literaturangaben},

booktitle = {Fortschrittberichte VDI ; Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik ; 72},

address = { Düsseldorf },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }