TY - BOOK
AU - Niewöhner, Ludwig
TI - ITM-prozessierte CoSi 2 -Kontakte für großintegrierte CMOS-Schaltungen
ET - Als Ms. gedr.
PB - VDI-Verl.
SN - 3181422096
KW - Metal oxide semiconductors, Complementary
KW - Integrated circuits
KW - Design and construction
KW - Electronic packaging
KW - CMOS
KW - Silicide
KW - Ionenimplantation
KW - Source Elektronik
KW - Drain Elektronik
KW - Selbstjustierende Technik
PY - 1991
N2 - Zugl.: Hannover, Univ., Fak. für Maschinenwesen, Diss., 1991
BT - Fortschrittberichte VDI ; Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik ; 122
CY - Düsseldorf
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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