TY - GEN
TI - Nanomanufacturing and metrology
PB - Springer Singapore
SN - 2520-8128
KW - Zeitschrift
PY - [2017]-
N2 - Gesehen am 30. Januar 2018
CY - [Singapore]
UR - http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
ER -
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