%0
Book
%T
Halbleitertechnologie
%A
Schade, Klaus
%I
Verlag Technik
%K
Halbleitertechnologie
%D
19XX-
%X
Literaturangaben
%C
Verlag Technik
%C
Berlin
%U
http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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