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Book
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MOCVD of high-K ceramic thin films for the Gbit DRAM technology
%A Phitsilēs, Phōtios
%K Hochschulschrift
%K Dynamisches RAM
%K Keramik Technik
%K Dünne Schicht
%K MOCVD-Verfahren
%D 2002
%X Auch als: Berichte des Forschungszentrums Jülich ; 4001