author = { Korzec, Dariusz },

title = { Kapazitiv gekoppelte Hochfrequenz-Ionenquelle mit radialer Anordnung der Anregungselektroden für reaktives Ionenstrahlätzen },

edition = { Als Ms. gedr. } ,

publisher = {VDI-Verlag},

isbn = {3181460095},

keywords = { Hochschulschrift , Ionenstrahlätzen , Hochfrequenzionenquelle },

year = {1993},

booktitle = {Fortschrittberichte VDI ; Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik ; 160},

address = { Düsseldorf },

url = { http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2 }