@book
{TN_libero_mab2,
author = {
Wuu, Shou-Gwo
Technische Universität Hamburg-Harburg Arbeitsbereich Halbleitertechnologie
Müller, Jörg
AND
Bauhofer, Wofgang
},
title = {
Laser induced lateral epitaxy on silicon-on-insulator
},
edition = {
Als Ms. gedr.
}
,
publisher = {VDI-Verl.},
isbn = {3181443093},
keywords = {
Hochschulschrift
,
SOI-Technik
,
Epitaxie
,
Laser
,
Flüssigphasenepitaxie
,
EBIC-Verfahren
},
year = {1992},
booktitle = {Fortschrittberichte VDI ; Reihe 9, Elektronik, Mikro- und Nanotechnik ; 143},
address = {
Düsseldorf
},
url = {
http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
}
}