%0 Book
%T Erprobung neuartiger Konzepte und Materialien für die Integration mikromechanischer Bauelemente
%A Röth, Andre
%A Technische Universität Dresden
%I Technische Universität Dresden
%K Hochschulschrift
%D 2017
%C Technische Universität Dresden
%C Dresden
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab2
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