%0 Book
%T Entwurf integrierter 3D-Systeme der Elektronik
%A Lienig, Jens
%I Springer Vieweg
%@ 9783642305719
%@ 3642305717
%K Three-dimensional integrated circuits
%K Integrated circuits Design and construction
%K Aufsatzsammlung
%K Dreidimensionale Integration
%K Entwurfsautomation
%K Dreidimensionales CAD
%K Layout Mikroelektronik
%K Thermodynamische Eigenschaft
%K Simulation
%D 2012
%C Springer Vieweg
%C Berlin
%U http://slubdd.de/katalog?TN_libero_mab215797596
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